特氣柜是指主要用于供應(yīng)特種氣體的柜子，氣體一般有易燃，易爆，劇毒等特性。主要用于半導(dǎo)體和LED的新興行業(yè)，特氣柜由下面幾個部件組成：

1. 氣動閥氣源：一般以GN2來進行控制，不建議使用CDA（clean dry air），因GN2的供應(yīng)系統(tǒng)比較穩(wěn)定，不會因停電或運轉(zhuǎn)設(shè)備故障而中斷，此氣源是用于自動或半自動的氣動閥件開關(guān)。

2. 手動控制閥：主要用于第二道防護作為第二次確認(rèn)用或檢修，一般于供應(yīng)氣體的出口端。

3. 逆止閥(單向閥)：防止特氣倒灌到清潔用的PN2（高純氮）系統(tǒng)和抽氣用的GN2（普氮）系統(tǒng)。

4. 調(diào)壓閥：用于調(diào)整供應(yīng)系統(tǒng)的供應(yīng)壓力。

5. 壓力傳感器：是防護系統(tǒng)中非常重要的零件，透過它我們可以判斷管路是否泄漏，相關(guān)閥件是否正常開關(guān)，同時亦可檢知鋼瓶的剩余量。

6. 真空產(chǎn)生器：利用GN2快速流動產(chǎn)生吸力，將管路中的氣體抽出，以到達抽氣的目的。

7. 氣體過濾器：一般在鋼瓶出口端會裝比較粗的過濾器，在出端會裝比較細(xì)的過濾器，有效過濾氣體中的顆粒，過濾器較不易吹掃，所以一般不建議裝在常吹掃的管路中。

8. 過流量偵測器：對管路異常流量進行偵測，若是超過設(shè)定值，即判斷管路上可能大量泄漏，進而關(guān)閉供應(yīng)系統(tǒng)停止供氣。

9.限流孔：是一種簡易又有效的過流量控制裝置，用以限制大量氣體流過，一般適用于出口處，其主要功用是避免大量的特殊氣體排出，區(qū)域性的廢氣處理機無法處理的情況發(fā)生。

其中：對于特氣柜里重要的儀器儀表組成部分，壓力表和壓力傳感器質(zhì)量的好壞，對設(shè)備正常運行、數(shù)據(jù)采集起到了決定性的作用。長野計器（NKS）生產(chǎn)的壓力表和壓力傳感器GW系列和ZT系列就是為半導(dǎo)體特氣柜量身定做的產(chǎn)品，長野計器的產(chǎn)品具有響應(yīng)速度快，信號采集輸出穩(wěn)定，安全可靠。產(chǎn)品在市場中名列前茅，收到了客戶的一致認(rèn)可。

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